Accurion: Accurion EP4

成像椭偏仪

EP4是新一代的成像椭偏仪，它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术。这使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征薄膜厚度和折射率。显微镜部分能够同时测量光学系统全视场范围内的所有结构。传统的椭偏仪注重于测量整个光斑，而不能实现高精度的横向分辨率，并且需要逐点测量。

EP4的显微镜功能使得我们能够获得微观结构的椭偏增强对比图像。在相机的实时图像中可以看到折射率或厚度的微小变化。允许识别椭偏测量的感兴趣区域（选区测量），以获得厚度（0.1 nm-10µm）和折射率的值。单次测量就可以获取厚度和折射率横向变化的3D图。

各种联用技术，例如原子力显微镜（AFM）、石英晶体微天平（QCM-D）、反射式测量仪、拉曼光谱仪等等，可以对同一区域进行原位分析。

另有在各种受控温度和气氛环境下测量的附件可选。

优秀的模拟软件

EP4软件允许直接控制仪器，同时进行数据分析或者离线分析。EP4Control控制软件操控仪器，可以在实时视图中选择测量区域（选区测量），可以测量多个样品和多个感兴趣的区域，并实现自动测量。DataStudio数据处理软件支持对各种记录的数据进行数据处理。直方图分析和线条轮廓图让您对被测样品细节有更为深入的了解。EP4Model模型拟合软件直接对数据进行建模。其直观的处理概念有助于用户创建简单到复杂的薄膜样品结构模型。并模拟分析得到样品的厚度和折射率信息。还可以获得进一步的物理参数，例如混合材料层的带隙或体积分数。