• 小型光纤和波导上的光谱椭偏仪，横向分辨率低至 1μm
• 对波导、垂直面和光纤端面进行精准折射率测量，相对折射率差 < 0.001
• 精准的膜厚测量，厚度分辨率为 0.1nm
• 波长范围 190nm - 1700nm（红外可升级至 2700nm）
• 一次测量获得多个结果：薄膜厚度、折射率、成分、污染物
• ECM 模式（椭偏对比增强显微镜）可实现快速质量控制

典型应用包括：

• 光子学和波导
• 集成光子学
• 垂直面
• 光纤