- 成像椭偏仪的空间分辨率低至 1 µm，轻松突破传统椭偏仪的分辨率限制。
- 单次测量即可创建包含超过 500000 个点的二维图。 传统的椭偏仪需要扫描并移动样品来测量二维平面图。
- 固有的椭圆偏振增强显微镜 (ECM) 可以非常快速地检测薄膜厚度和折射率变化，而无需运行完整的椭圆偏振测量。
- “先查找，后测量”。成像椭偏仪的图像实时视图可帮助您在椭偏测量之前识别感兴趣的相关样品位置。它甚至显露微小的表面修饰，包括亚纳米厚度台阶！在一些传统椭偏仪中，使用“概览相机”或“并行监控像机” 是看不到这些特征的。因此，在搜索特定表面特征时，这些相机不得不依赖耗时的区域扫描。
- 获得专利的感兴趣区域概念（ROI 概念）允许将测量和数据分析集中在视野内的选定特征上。
- 空间分辨率与探测光斑尺寸无关。因此，不需要严格的光束聚焦。
