• 对小至 1μm 的 MEMS 结构进行光谱椭偏测量
• 梳状结构的精确膜厚测量，厚度分辨率为 0.1nm
• 一次测量获得多个结果：薄膜厚度、折射率、成分、污染物
• ECM 模式（椭偏对比增强显微镜）可实现快速质量控制
• 曲面上的测量

典型应用包括：

• 微机电系统传感器
• 微机电系统镜子和弹簧涂层
• 射频微机电系统
• 薄膜封装
• 气体分析仪
• 湿度传感器