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显示行业
成像椭偏仪
应用
多区域并行测量
每个区域对应另一个层堆栈
每个区域对应另一个层堆栈
- 使用获得专利的 ROI（感兴趣区域）概念对几微米小区域进行光谱测量
- 每个 ROI（感兴趣区域）对应于另一个层堆栈
⇒ 单次运行多次测量 - 不同模型之间的厚度耦合允许多层薄膜的结果不相关
- 紫外波长范围低至 190nm，可表征显示材料
- 单次测量获得多个结果：厚度、光学色散、成分
- 已获专利的 RCE6 模式允许节拍时间 < 20 秒
