椭圆偏振测量法是一种非常灵敏的技术，用于测量薄膜和减反射 (AR) 涂层。然而，它通常仅适用于平面样品。通过将我们的专利技术与弯曲表面上的成像椭偏仪 ep4 结合使用，我们可以克服这个问题并测量例如微透镜阵列上的增透膜。

• 测量曲面上的层厚度和折射率
• 研究透镜、曲面镜和微透镜阵列上的抗反射涂层
• 在一次测量中确定多个物体的厚度分布