光谱成像椭偏仪测量样品的椭偏特性作为探测波长（或光子能量）的函数。它产生高光谱 Δ-Ψ-图，其中每个图像像素都包含测量的椭圆光谱（图 1）。光谱测量是实现薄膜样品完整且高精度表征的通用方法（图 2）。因此，它们在过去二十年中已成为成像椭偏仪的标准用例。我们的大多数成像椭偏仪都配备了光谱测量功能。

得益于数码相机技术的进步和宽带光学组件的定制设计，Accurion 提供适用于电磁波谱的紫外线 (UV)、可见光 (VIS) 和红外线 (IR) 部分各种光谱范围的光谱成像椭偏仪。用于宽带测量的高端成像椭偏仪可以配备多达三个不同的相机，以覆盖从紫外线到红外线的整个光谱范围。