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透明基底
成像椭偏仪

应用

透明基板上的薄膜越来越受到柔性显示器等前沿技术的关注,但这常常引发如何以非破坏性方式抑制干扰性背面反射的问题。刀状照明是一种非常有效的工具,可以在不损坏样品的情况下解决这个问题。

刀状照明是一种非破坏性技术,无需对样品或基材进行任何操作即可测量薄透明基材上的层。通常在透明基板上,顶侧反射被基底侧的反射覆盖,这会扭曲测量结果。为了避免这种影响,我们将刀刃靠近样品放置,这会导致样品基材的背面部分受到阴影。

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